Intelligens tömegáramlási mérők Kis térfogati áramlási vezérlők Hő gáz tömegáramlási mérők
Használat és jellemzők
A tömegáramlási vezérlő (MFC) a gázok tömegáramlásának pontos mérésére és vezérlésére szolgál. Fontos szerepet játszanak a félvezető- és integrált áramkör-iparban, a speciális anyagok tudományágában, a vegyiparban, valamint az ipar, az orvostudomány, a vákuum lámpák különböző területein. Tipikus alkalmazásai a következők: elektronikai folyamati berendezések, mint például a diffúzió, a kiterjesztés, CVD、 Oxidáció, plazma ásás, sputtering, ionbefecskendezés; És bevonatberendezések, rostolvadás, mikroreakciós berendezések, vegyes gázolosztási rendszerek, kapilláris mérések, gázkromátusok és egyéb elemző eszközök.
Fő technikai mutatók
Méréstartomány (20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0-1,2,3,5,10) SLM
Pontosság +1,5% F.S.
Lineáris +0,5 ~ 1,5% FS
Megismétlési pontosság +0,2% F.S.
Válaszidő 10sec Gázjellemzők: (1-4) sec
Működési nyomáskülönbség 0.1 ~ 0.5MPa
Nyomás ellenállás 3Mpa 6Mpa 10Mpa
munkakörnyezeti hőmérséklet 0 ~ 70 ℃
Digitális mennyiség RS485 MODBUS protokoll
Analóg mennyiség DC 0 ~ 5V, 4 ~ 20mA opcionális
Elektromos jellemzők: SLM
Tápegység DC +15V/24V opcionális, áramlásmérő <50mA, vezérlő <200mA
Elektromos csatlakozás DB15
1×10 SCCSHe szivárgási arány
Alap anyaga 316L rozsdamentes acél
Tömítési anyag Fluorogumi, butanin, neopren
A légúti csatlakozó Φ3, Φ6, Φ10, 1/8 ", 1/4 ", 3/8 "
Megjegyzés: A gyári tömegáramlási mérők és tömegáramlási vezérlők általában nitrogén (N₂) segítségével vannak kalibrálva.
A tömegáramlás egysége: SCCM (standard ml/min); SLM (szabványos liter/perc)
Intelligens tömegáramlási mérők Kis térfogati áramlási vezérlők Hő gáz tömegáramlási mérők